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技術(shù)指標(biāo)
?工位數(shù)：8-16路充排氣
?控溫范圍：室溫℃～200℃
?溫度均勻性：±3℃；
?升溫速率：0~10℃/min
?極限真空：E-8Pa

產(chǎn)品介紹
該設(shè)備適用于各種光電電真空器件、零部件排氣（充氣），包括芯片封裝、半導(dǎo)體元器件封裝、X射線管制備等工藝。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、太陽能、鋰電池等高新行業(yè)。設(shè)備具有無油、排氣速率快、極限真空高等特點(diǎn)，多工位的設(shè)計(jì)大幅提升了生產(chǎn)效率。